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MEMS芯片
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MEMS微振镜是一种把可动结构芯片化的光学器件,可取代传统电机,实现激光光束的高速、动态扫描。 MEMS微振镜由单晶硅加工制成,具有可靠性高、体积小、重量轻,易批量化等特点。
知微传感拥有1D和2D MEMS振镜产品,同时还可根据用户需求提供定制化的产品和服务。
产品名称 | C1130 | C1100 | C2110 | C2120 |
产品图片 |
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轴数 |
单轴
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单轴
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双轴
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双轴
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频率 |
1.15kHz
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5.3kHz
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快轴:13kHz;慢轴1.2kHz
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快轴:25kHz;慢轴2.3kHz
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光学扫描角度 |
±30°
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±30°
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快轴:±15°;慢轴:±12°
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快轴:±15°;慢轴:±12°
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镜面镀膜
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金 | 金 | 金 | 金 |
手册 | C1130 | C1100 | C2110 | C2120 |