MEMS芯片
MEMS芯片
MEMS微振镜是一种把可动结构芯片化的光学器件，可取代传统电机，实现激光光束的高速、动态扫描。 MEMS微振镜由单晶硅加工制成，具有可靠性高、体积小、重量轻，易批量化等特点。
知微传感拥有1D和2D MEMS振镜产品，同时还可根据用户需求提供定制化的产品和服务。
| 产品名称 | C1130 | C1100 | C2110 | C2120 |
| 产品图片 |
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| 轴数 |
单轴
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单轴
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双轴
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双轴
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| 频率 |
1.15kHz
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5.3kHz
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快轴：13kHz；慢轴1.2kHz
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快轴：25kHz；慢轴2.3kHz
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| 光学扫描角度 |
±30°
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±30°
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快轴：±15°；慢轴：±12°
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快轴：±15°；慢轴：±12°
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镜面镀膜
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金 | 金 | 金 | 金 |
| 手册 | C1130 | C1100 | C2110 | C2120 |