MEMS芯片

MEMS微振镜是一种把可动结构芯片化的光学器件,可取代传统电机,实现激光光束的高速、动态扫描。 MEMS微振镜由单晶硅加工制成,具有可靠性高、体积小、重量轻,易批量化等特点。
知微传感拥有1D和2D MEMS振镜产品,同时还可根据用户需求提供定制化的产品和服务。
     
产品名称C1130C1100C2110C2120
 
产品图片

     

轴数单轴单轴双轴
双轴
频率1.15kHz 5.3kHz 快轴:13kHz;慢轴1.2kHz
快轴:25kHz;慢轴2.3kHz
光学扫描角度±30°±30°快轴:±15°;慢轴:±12°
快轴:±15°;慢轴:±12°
镜面镀膜
手册C1130C1100C2110


产品名称 C1130 C1100 C2110 C2120
 
产品图片
 

   
轴数
单轴
单轴
双轴
双轴
频率
1.15kHz
5.3kHz
快轴:13kHz;慢轴1.2kHz
快轴:25kHz;慢轴2.3kHz
光学扫描角度
±30°
±30°
快轴:±15°;慢轴:±12°
快轴:±15°;慢轴:±12°
镜面镀膜
手册 C1130 C1100 C2110 C2120